质量流量计，质量流量控制器的流量单位是什么？（slm/sccm）？
气体质量流量单位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位 时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干SLM）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。