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质量流量计,质量流量控制器的流量单位是什么

质量流量计质量流量控制器的流量单位是什么?(slm/sccm)?

气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。

对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位 时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
 

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