用于精确的测量气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽，大流量分流器不易堵塞等特点。

【性能特点】
●量程：	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●准确度：	±1% F.S
●线性：	±0.5～1% F.S
●重复精度：	±0.2% F.S
●响应时间：	10S
●气压降：	<0.01MP
●最大压力：	10MP
●工作环境温度：	5～45℃
●输出信号：	0～+5.00V		管道热式质量流量计
●电源：	+15V 50mA -15V 200mA
●外形尺寸：	158.7*60*198，161.7*60*198可选
●重量：	2.5 Kg
●防爆等级：	Exd II BT6
			热式质量流量计(进入）

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